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涂布机镀铬辊的操作方法

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涂布机镀铬辊的操作方法

发布日期:2016-07-27 作者: 点击:

涂布机镀铭辊的操作方法 

使用操作方法: 

(1) 首先将PUMP的电源插头插入涂布机后面的电源插座。

(2) 将涂布机插头插入110V的电源插座,然后按下[POWER]键。

(3) 设定旋转的转速及时间,本机型为二段式加速的Spin Coating,右边为第一

 段加速,左边为第二加速。

(4) 依不同尺寸的基材,可更换不同的旋转转盘做徒步的动作。

 (5) 按下[PUMP]键,此时旋转转盘会吸住基材,然后将光阻依螺旋状从基材中

心均匀且慢慢的往外涂开至适当的量,在做光阻涂开动作时可先用氮气将

 旋转转盘周围及基材吹乾净。

(6) 盖上涂布机的保护盖,以防止光阻溅出涂布机外。

(7) 按下[START]键,涂布机便开始做涂布的动作。

(8) 涂布完毕后,打开保护,按下[PUMP]键旋转转盘会放开基材,便可以将基

 材取出。


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